氮化铝氮化镓真空烧结炉真空气氛高温烧结炉供应支持定制

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氮化铝氮化镓真空烧结炉真空气氛高温烧结炉供应支持定制

用途：陶瓷的烧结、纯化、高温清洗。

1. 开炉取料型式：立式手动上出料 

2. 主要技术参数

3. 结构说明

该设备包含炉体、支撑炉体的架台组件、炉门锁紧机构、炉门升降机构、真空系统、热场、温度测量与控制系统、电气控制系统、冷却水系统、压缩空气系统以及工艺气氛系统。

3.1 炉体

炉体主要由腔体、上炉盖、下炉盖组成。

3.2.1腔体为双壁水冷结构，内外壁及法兰均选用304不锈钢，内表面精抛处理，外表面拉丝处理；腔体底部周围焊接有四套耳式支座，与架台上平面连接。

腔体设计接口如下：

3.2.2 上炉盖采用整块304不锈钢厚板加工而成, 内表面精抛处理，外侧中部加工环形水槽,使炉盖得到充分冷却。

上炉盖设计接口如下：

3.2.3 下炉盖采用整块304不锈钢厚板加工而成, 内表面精抛处理，外侧中部加工环形水槽,使炉盖得到充分冷却；下炉盖底部焊接有连接座，与升降机构连接。

下炉盖设计接口如下：

炉门锁紧机构采用锁紧环形式，由一体加工的锁紧环本体、Airtac标准气缸、缓冲阀、限位轴承等组成，确保工艺气氛

烧结的安全运行。3.2 炉门锁紧机构

3.3 真空系统

真空系统主要由真空排气系统和真空检测系统组成，包括真空泵、真空阀门、真空计、真空规管、真空接头、真空波纹管、真空管道以及真空密封件等组成。

3.4.1真空排气系统

3.5.2真空检测系统

热场主要由隔热屏、加热器、料架等组成。3.4 热场结构

3.6.1 隔热屏

加热器采用表面负荷小，使用寿命长的石墨板式结构；它沿圆周方向均布在侧屏内部，连接方式为星形结构；3.6.2加热器

加热器电极采用上引出结构，通过上炉盖的电极法兰与水冷式铜电极连接，该引出结构可以使加热器保持自然悬垂状态，加热器下方留有足够的空间。

加热器由：石墨桶温度均匀性。

3.5 温度测量与控制系统

3.7.2温度控制系统中,热电偶将信号传送给温控仪，按事先设定好的工艺曲线控制升温、保温、降温等过程 ，控温精度为±0.1％ F S。温控仪上可实时显示设定温度与设计温度,且与PLC保持通讯，设定温度与设计温度在上位机的控制画面也会实时显示,方便操作者随时掌握设备工作状态。3.7.1 温度控制：1100℃K型热电偶测温，超过1100℃热偶拉出，双色红外开始测温。

3.6 电气控制系统

3.8.1 电控柜内部选用德国施耐德、日本和泉等低压电器控制元器件组成工业炉控制系统，稳定可靠；

3.8.2除了取料装料需要人工搬运外，该控制系统可实现真空系统控制与温度控制的全自动运行，避免人为操作失误，保障设备安全运行；

3.8.3真空运行状态、冷却水状态、实时与历史温度曲线、加热电流、加热电压、加热功能等参数可通过上位机实时监控并直观显示；

3.8.4自动控制程序与低压电器回路中均设计有必要的互锁控制，设备运行过程中如果出现了诸如超温、超压、断水、短路、断路等异常现象时，会发出声光报警提醒操作人员及时处理故障，并且在上位机上显示相应故障信息；同时控制系统会根据故障的危险等级执行必要的保护程序，及时切断加热电源，设备安全运行。

3.8.5电器控制系统除了具有自动控制功能外，同时提供了手动操作界面，这有利于材料烧结工艺的开发，给予科研人员更大的自由度。

3.7 冷却水系统组成

冷却水系统主要由不锈钢分水器、水温及水流量传感器、水压表、不锈钢球阀、不锈钢管道过滤器、尼龙水管、水接头等组成。

该系统具有水压低报警、断流报警、水温高报警功能；冷却水水管选用进口高压橡胶管，水接头选用Airtac快插接头。

冷却水系统还配有应急水路接口，配有单向阀、电磁阀等，当主水路供水异常中断后，安装在应急水路的电磁阀自动打开，应急水路开始供水，在主水路与应急水路上都配有单向阀，可避免水路串流。