氮化硅、碳化硅真空烧结炉

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一、 设备基本原理及主要用途

1. 设备用途

适用于电子陶瓷与高温结构陶瓷的烧结、玻璃的精密退火与微晶化、晶体的精密退火、陶瓷釉料制备、粉末冶金、纳米材料的烧结、金属零件淬火及一切需快速升温工艺要求的热处理，应用于电子元器件、新型材料及粉体材料的真空气氛处理，材料在惰性气氛环境下进行烧结。本设备具有安全可靠、操作简单、控温精度高、保温效果好、温度范围大、炉膛温度均匀性高等特点。综合性能指标较高，处于国内水平。根据不同的使用气氛及使用温度，使用不同的加热元件，型号，对需在惰性气体环境下烧结的材料，本设备是一个非常好的选择，同时也可满足于不同工艺实验而特殊制造。

2. 设备简介

该真空电阻炉以HRE合金丝为加热元件，采用双层壳体结构30段程序控温系统，移相触发、可控硅控制，炉膛采用氧化铝材料，双层炉壳间配有风冷系统。炉体采用整体密封，盖板和炉门密封采用高温硅胶板、炉门口安装有真空系统、水冷系统等，气体经过流量计后进入炉体，可以通氩气、氮气等惰性气体，并能抽真空。

二、 主要技术参数

1.极限温度：1200℃

2.工作温度：1100℃

3. 加热功率： 9KW/15KW

4.加热形式： HRE电阻丝，温场均匀，能耗低

5. 炉膛尺寸： 400mm*200mm*200mm（长方体）

600mm*400mm*400mm

6. 保温材料： 高纯氧化铝微晶体纤维，保温性能好

7. 装料方式： 前侧装料

8. 极限真空度： 6.7x10^(-4) Pa

9. 控制精度： ±1 ℃

10. 热电偶型号：N型

11. 温控控制： 30段程序控温系统，PID控制

12. 内外层炉壳： SECC钢板防锈处理，并经粉体烤漆处理

13. 设备表面温度：≤60℃

14. 数据导出系统：可通过USB将升降温工艺导出，曲线图显示

三、 设备结构特征

此款真空电阻炉主要由炉体、加热保温系统、真空系统、气氛控制系统、水冷系统、电器控制系统等组成。

1. 炉体

炉体采用双层壳体结构，炉内壳体采用整体密封，炉门密封采用高温硅胶板密封、炉口设有水冷系统以保护炉口密封圈，炉壳配有水冷系统，表面温度≤60 ℃。

2. 加热保温系统
3.
加热元件采用合金丝，合理均匀的布置在物料两侧，炉膛采用1800型高纯氧化铝微晶体纤维，保温性能良好。测温元件选用N型热电偶，并配置30段温控仪表，当系统超温时，自动进行声光报警，以进行相应的动作。

3. 真空机组

真空机组采用双机泵。（扩散泵+罗茨泵/机械泵）

真空系统其它辅件有高真空挡板阀（主阀、粗抽阀、前级阀）、冷阱（防止返油）、不锈钢波纹管、放气电磁阀（防止返油）及真空管路等。本系统采用真空机组，具有抽气速度大且极限真空度高的优点。

4.水冷系统

由各种阀、测温装置、水流量计及管道相关装置组成，具有关键位置冷却水超温，

断水声、光报警并执行相应的保护动作，为设备正常稳定运行提供保障。

5.电气控制系统

控制系统主要包括：温度控制、气氛控制、真空控制等。温度控制为PID微电脑自动演算，PV/SV同时显示按键设定移相触发、可控硅控制，控制仪表采用30段程序控温仪表，控制精度高，控制系统采用IEC标准，精选电气元件及测量元件，操作简单易懂。控制系统主要包括：整体控制柜1套。

四、 成套配置

1. 炉体： 1套

2. 加热及保温系统：

a) 硅钼棒 1套

b) 氧化铝多晶纤维 1套

3. 真空系统：

a) 扩散泵： 1台

b) 罗茨泵/机械泵： 1台

c)高真空气动挡板阀： 1只

d) 高真空电磁阀： 2只

e) 复合真空计： 1套

f) 金属波纹管： 1套

g) 真空放气阀： 1只

h) 真空测量系统： 1套

i) 真空管路： 1套

4. 水冷系统：

a) 测温装置 1套

b) 水流量计 若干

5. 电气控制系统：

a) 控制柜： 1只

b) 变压器： 1只

c) 气动元件： 1套（含连接到气源）

d) 连接电缆： 1套（炉体部分）

e) 铂铑热电偶： 1只

f) 温度控制仪表： 1只

五、 安全保护系统

1. 电气联锁保护系统

2. 电热过电流保护装置

3. 保险丝

4. 安全压力阀

5. 超温报警

六、 整机要求

1. 电力需求： 220V、380V

2. 起重设备： 750-1200kg

3. 容量： 12L/36L/80L

七、 安装、调试及验收

1. 买方负责地基、气源、水源，供方电控柜总线输入端之前的进线电缆。在所有准备工作完成后，通知供方进行安装、调试。设备以供方组织，买方配合的方式在买方现场安装、调试并达到买方正常使用的要求；

2. 验收标准依据双方签订的设备技术协议验收。在供方现场进行预验收，合格后发至买方现场。在买方现场安装调试合格后，进行终验收；

3. 验收工作完成后，由双方共同签署设备终验收报告。

八、 培训

设备安装调试过程中，供方同时对买方设备使用人员进行必要的操作和维护保养的培训。经培训，用户技术人员能够达到立正确操作设备并能判断故障及简单维修。

九、 质保期

设备全系统质保12个月。

十、 售后

①客户的技术疑问，我们承诺在1个小时内处理完毕。

②返厂维修的设备我们承诺在24小时日内出具检测结果，3个工作日内完成维修，特殊材料需订制，酌情处理。

③设备返给客户后1周之内对用户进行回访，并提供相关技术的免费咨询。

④协议签定后,到货之日起整机保修12个月，

⑤保修期内，设备发生故障，买方通知卖方（以电话/传真/电子邮件为准）后，卖方工程师1小时响应，12小时内出具维修方案。保修期外，卖方继续提供优惠的技术支持并以提供备品、备件供应，以及终身维修服务。